皮米级超精密微探头激光干涉仪源于哈尔滨工业大学激光团队二十余年技术积淀，采用高精度激光干涉测量核心技术，搭配微型探头与柔性光纤传输设计，突破了传统干涉仪的空间与量程限制，实现了大行程下的皮米级超高分辨力测量。系统提供单轴、联动多轴（典型四轴）及独立多轴（典型三轴）等多种灵活配置，满足从基础位移反馈到多维同步监测的复杂要求。仪器采用感测分离架构与先进抗干扰模组，在真空等恶劣场景下仍保持卓越稳定性。凭借极致紧凑的设计与便捷的装调体验，广泛应用于非接触式位移反馈/几何量测量、振动幅度检测等领域，是光学制造、精密机械加工、精密计量及半导体光刻机等前沿装备研究中不可或缺的高精度测量工具。