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飞秒激光波导专用直写系统
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飞秒激光波导专用直写系统
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产品说明
直写传输损耗低的优质光波导
可构建波导定向耦合器
配置空间光调制器(SLM)进行激光焦斑整形
可直写圆形波导,矩形波导等
机器视觉
软件控制系统所有硬件
Roban-Waveguide系列飞秒激光波导专用直写系统配置飞秒激光放大器(可选配)以及三维高精度空气轴承位移平台,可将飞秒激光聚焦至透明材料内部直写各类光波导及波导阵列,适用于科研院所进行集成光学、量子光学等方向研究。欲了解该系统具体定制详情,请联系LBTEK技术支持。
示意图
产品属性
光源
飞秒激光放大器(1030 nm / 515 nm,1-200kHz)
加工材料
各类硬质透明材料(玻璃、石英、铌酸锂等)
加工范围(L×W×H)
100×100×60 mm
设备尺寸(L×W×H)
600×500×800 mm
XY轴重复定位精度
±50 nm
Z轴重复定位精度
±100 nm
最高扫描速度
100 mm/s
加工文件格式
AeroBasic,支持STL格式转换
电气要求
AC200-240 V,50/60Hz,5kW
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