飞秒激光微纳加工工作站

参数规格
应用案例
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产品说明
  • 深度定制激光工艺
  • 优化配置激光光源及各类硬件
  • 百纳米至微米级分辨率
  • 高速高精度加工
  • 高效的激光输运及能量控制
  • 优化的软件控制系统所有硬件
Roban-Nano系列飞秒激光微纳加工工作站是一个开放式的飞秒激光加工平台,可根据用户需求定制激光加工工艺并配置激光光源、位移台及其他相关硬件。欲了解该系统具体定制详情,请联系LBTEK技术支持。
示意图
产品属性
光源飞秒激光放大级(1030nm/515nm/343nm)选配
加工材料半导体材料、透明介质材料、金属、光纤、聚合物等
加工范围(L×W)25×25 mm 至 500×500 mm(根据需求)
设备尺寸(L×W×H)800×600×800 mm
XY轴重复定位精度±50 nm至±5 μm
Z轴重复定位精度±100 nm至 ±5 μm
扫描速度0.1-200mm/s(根据需求)
加工文件格式AeroBasic,支持DXF,STL文件转换
电气要求AC200~240 V,50/60 Hz,5 kW
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