支持打印高度≤10 mm
最低粗糙度≤30 nm
最小特征线宽≤50 nm(XY平面)和≤300 nm(Z轴)
最小周期(XY平面)≤400 nm
扫描速度(最大)10 m/s除以物镜放大倍率(例:100X 物镜下扫描速度为100 mm/s)
拼接精度≤100 nm(XY平面)
激光器中心波长517 nm
激光器平均功率>1 W
激光器脉冲宽度<200 fs
激光器功率稳定性<1% RMS
激光器光束质量M²<1.2
激光器重复频率80±5 MHz
外观尺寸(宽×高×深)1700 mm×1500 mm×2200 mm
仪器重量<2000 kg
安装条件千级以上洁净间
电气条件220/380 V 功率>5 kW
环境稳定20±1 ℃
压缩空气过滤至0.25 μm,无油,稳定在0.5-0.6 MPa,流量应在500-800 SLPM
环境照明黄光灯