MEMS振镜属于一种光学MEMS执行器芯片，可以在驱动作用下对激光光束进行偏转、调制、开启闭合及相位控制。按照 MEMS振镜的驱动方式不同，可划分为静电驱动（ES），电磁驱动（EM），电热驱动（ET）以及压电驱动（PE）四种。LBTEK 提供的单轴扫描微振镜是一款基于MEMS技术的芯片，在驱动信号的作用下，微振镜绕扭转梁做谐振式扭转运动，以此来达到单轴扫描的效果。其具有体积小，可靠性高等优点，在激光扫描，激光雷达以及激光显示等方面具有广泛的应用。